2.ΠΠ°ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ
ΠΠ°ΡΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° | ||||||
ΠΠ΅ΡΠ°Π»Ρ: | ||||||
ΠΠ»ΠΎΠΊ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ² | ||||||
ΠΠΎΠΌΠ΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ: | ||||||
β 5320-3509028 | ||||||
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ | |||||
Π‘Π§ 18 | HBΒ β 187-241 | |||||
ΠΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΡ Π½Π° ΡΡΠΊΠΈΠ·Π΅ | ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ | Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅-Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ | Π Π°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΌΠΌ | ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ | ||
ΠΏΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΆΡ | Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΡΠΉ Π±Π΅Π· ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ° | Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ° | ||||
1 | Π’ΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ, ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΌΡ, ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΠΈΠ½Ρ | ΠΡΠΌΠΎΡΡ | β | β | β | ΠΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°ΡΡ |
2 | ΠΠ°Π΄ΠΈΡΡ, ΡΠΈΡΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠ° | ΠΡΠΌΠΎΡΡ, Π»ΡΠΏΠ° | β60+0,03 | ΠΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ
Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ
ΡΠΈΡΠΎΠΊ ΠΈ Π·Π°Π΄ΠΈΡΠΎΠ². | ||
3 | ΠΠ·Π½ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠ° | ΠΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π½ΡΡΡΠΎΠΌΠ΅Ρ | β60+0,03 | β60,3 | β | ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ |
1-ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ | β60,4+0,03 | β60,43 | β60,23 | |||
2-ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ | β60,8+0,03 | β60,63 | ||||
4 | ΠΠΎΡΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠ° | ΠΠ΅ΠΊΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠΊΠ° | 92-0,24 | 91,7 | ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ Π²ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | |
5 | ΠΠ·Π½ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅Π΄Π»ΠΎ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½Π° | ΠΡΠΌΠΎΡΡ | β17+0,019 | 17,027 | ΠΠ°ΠΏΡΠ΅Ρ- ΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠ»ΠΊΡ | |
6 | Π‘ΡΡΠ² ΡΠ΅Π·ΡΠ±Ρ | ΠΡΠΌΠΎΡΡ | ΠΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ±ΠΎΠ²ΡΡ Π²ΡΡΠ°Π²ΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π²Π΅ΡΡΡΡ | |||
ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ
ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ.
ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ, Π° Π²ΡΠΎΡΠ°Ρ, ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ Ρ Π½Π΅ΠΉ, Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ, ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°. ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π»ΠΈΡΡ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π»ΠΈΠΊΠ²ΠΈΠ΄Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ
ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ².
ΠΡ
ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π·Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ
ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ, ΠΏΡΠΈΠΏΡΡΠΊΠ° Π½Π°
ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΈ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΡΠΈΠΏΡΡΠΊ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ
Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ: ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ
ΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ½ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ
0,05β0,10 ΠΌΠΌ, ΠΏΡΠΈ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 0,03β0,05 ΠΌΠΌ Π½Π°
ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ.
ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π³ΠΈΠ»ΡΠ·Ρ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Π»Π°, ΠΎΠΏΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Π»Π° ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ. Π ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ. Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°ΡΡΡΡ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
Β«ΠΠΈΠΊΡΠΎΠ³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΒ» — ΡΡΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ². ΠΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ°, Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅Π²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠ²ΡΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ — Π±ΡΡΡ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΡΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»ΠΎ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
ΠΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ,
Π»ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΡ,
ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½Ρ (ΡΠΈΡΠΊΠΈ) ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ
ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΎΡ
ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ
0,005-0,010 ΠΌΠΌ ΠΈ ΡΠ³Π»Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΠ΅) Π²Π΅ΡΡΠΈΠ½Ρ
— ΠΎΠΏΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π’Π°ΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΡ
ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ
Ρ
ΠΎΠ½ΠΈΠ½Π³ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΡΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ β Π‘ΡΡΠ΄ΠΎΠΏΠ΅Π΄ΠΈΡ
ΠΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Β
ΠΡΠΎΡΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΠΠ‘Π’ 3.1115 β 79. ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΠ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΠ’ΠΠ:
β Π² Π³ΡΠ°ΡΠ°Ρ Β«ΠΠ°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΡΠ±ΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Β» ΠΈ Β«ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ΄Β» ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π° Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΊΠ΅ ΡΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ΅Π±Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Β«Π/Π’Β». ΠΠ»ΠΎΠΊ ΡΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ΅Π±Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΡΠΎΠΊΠΈ ΡΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ΅Π±Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Β«Π/ΠΒ». ΠΠ»ΠΎΠΊΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°Ρ 2.1 ΠΈ 2.2.
ΠΠ»ΠΎΠΊ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 2.1
Β
ΠΠ»ΠΎΠΊ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2.1
| Β | ΠΠΎΠ΄, | ΠΠΠ | Β | ΠΠΠΠ | ΠΠΠ | Π‘Π’Π | Β | Β |
| Π Π | Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ | Β | Β | Β | Β | Β | Β | Β |
| Β | Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | Β | Β | Β | Β | Β | Β | Β |
| Β | Β | Β | Β | Β | Β | Β | Β | Β |
| Β | Β |
Β
ΠΡΠ°ΡΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉ 2.
2
Β
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2.2 β ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°Ρ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ
Β
| ΠΠΎΠΌΠ΅Ρ Π³ΡΠ°ΡΡ | Π£ΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΡ ΠΠ Π | Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΡ | |
| ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ | Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ | ||
| ΠΠΎΠ΄, Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | ΠΠ | ΠΠΎΠ΄, Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°. ΠΠΎΠ΄ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ | |
| ΠΠΠ | ΠΠΠ | ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ | |
| ΠΠΠΠ | ΠΠΠΠ | ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ | |
| ΠΠΠ | ΠΠΠ | Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° | |
| Π‘Π’Π | Π‘Π’Π | ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΊΠΎΠ΄), Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ | |
| — | — | ΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ²Π½Π°Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ°. ΠΠ°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠ°
|
Β
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠΎΡΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ°Ρ 2.1 ΠΈ 2.2.
ΠΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ
1. ΠΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
2. ΠΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ.
3. ΠΠ°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ° Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°Π²Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ (ΠΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΎΡΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π½Π° Π»ΡΠ±ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ°, Π²ΡΠ΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ).
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΡΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΡΡ.
ΠΡΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ β ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ.
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ΅ΡΠ°
1. ΠΠΎΡΡΠ½ΠΈΡΠ΅ ΡΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
2. ΠΠΎΡΡΠ½ΠΈΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
3. Π‘Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π²Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΠ΅ Π² Π³ΡΠ°ΡΡ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΡΡ
4.
ΠΡΠ²ΠΎΠ΄Ρ.
Β
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ
1. ΠΠ°ΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π²Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π² Π³ΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Β«ΠΠΠΒ»?
2. ΠΠ°ΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π²Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π² Π³ΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Β«ΠΠΠΠ Β»?
3. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π²Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½Π°ΡΡΠΊΠ΅?
4. ΠΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ?
5. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ Π³ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅?
6. ΠΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΊΠ΅ ΡΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ΅Π±Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Β«Π/Π’Β»?
7. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΊΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ?
Β
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 2.1 ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΠ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΠ’ΠΠ.
Β
Β
Β
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 2.2 ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠΊΠΈΠ·ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΠ.
ο»Ώ
ΠΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΈΡΠΏΡΠ°Π²Π½ΠΎΡΡΠΈ — Π°ΡΡΠΈΠ±ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ — ΠΠ°ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² [2/2]
ΠΡΡΠΈΠ±ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΠ΄Ρ
ΠΎΠ΄Π΅ SPC ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌ ΠΎΡΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠΈΠ±ΡΡΠΎΠ² NP (ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ
Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ), C (ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΉ ), P (Π΄ΠΎΠ»Ρ Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ
Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ) ΠΈΠ»ΠΈ U (Π΄ΠΎΠ»Ρ Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ).
ΠΡΠ»ΠΈ C-ΠΊΠ°ΡΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ 100% ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Π΅, Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ. Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ. Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΈ, Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ ΡΡΠΎΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ, Π΄Π»Ρ Π°ΡΡΠΈΠ±ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Π²Π΅ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°). ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
Β
ΠΠ° ΡΡΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ΄Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π²Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°: ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡΠ΅, Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΌ ΠΊΡΡΠ»Π΅. ΠΠ° ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π°ΡΠ΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°Ρ , Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΡΠΈΡ , ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ»ΠΈΠ΅Π½Ρ Π²ΠΎΠ·Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ Π°ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π°ΡΠ΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π²Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°: ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡΠ΅, Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΌ ΠΊΡΡΠ»Π΅.
Π ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π½Π°ΡΡ, Π³Π΄Π΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΠΎΡΠ±ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ.
Π Π°ΡΡΠΎΠ½Π°Π²ΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ, ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ. Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠ° ΠΆΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΡΠ»ΠΎΠΌΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ½Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°ΠΌ.
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π°, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ½Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π½Π΅Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅ Π±Π΅Π·Π΅Π»Ρ, ΡΡΠΎ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠΎΡ ΠΆΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π°.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΈ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΠΎΡΠΊΠ°Π·Π΅ ΠΎΡ Π±ΡΠ°ΠΊΠ°. ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΈ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π° Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ΅ (Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°).
ΠΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ.
Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎ ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ΄Π°ΡΠ΅Π»Ρ Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ: ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π²ΡΠ°Ρ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΏΡΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±Π΅Π³Π½ΡΡΡ ΠΊ ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΠ²ΠΊΠ΅.
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ (ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠ΅, Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 15 ΠΌΠΌ).
Β
Β
Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Π°, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π΅Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Π΅Π΅, Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ±ΡΠΎΡΠΈΡΡ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΡΠ°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π΅ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π±Π΅ΡΠΏΠΎΠΊΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 5 ΠΌΠΌΒ².
ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈΠ»Π»ΡΡΡΡΠΈΡΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π΅Π»ΠΎ Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊ ΡΠΎΠΆΠ°Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π²Ρ Π½Π΅ ΡΠ²ΠΈΠ΄ΠΈΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΊ ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ (ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°), ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²?
ΠΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π°ΡΠ΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Β«Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΒ» Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° Π²ΡΠ΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈ, Π²Π·ΡΡΡΠ΅ Π² Π°ΡΠ΅Π½Π΄Ρ Π·Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄.
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ, Π² ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ
ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ
Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
Β
Β
ΠΠ»ΡΠ΄Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π²ΡΡΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π²Π΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ°Π΄Π°ΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Ρ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²!
ΠΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΡ ΡΡΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΈ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΈΡ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²Β
ΠΡΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, 20 ΡΡΡΠΊ Π² Π½Π΅Π΄Π΅Π»Ρ) ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Ρ Π½Π°Ρ Π΅ΡΡΡ Π·ΠΎΠ½Π°, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (ΠΎΡ R2-S2 Π΄ΠΎ R3-S5): ΠΌΡ Π±Ρ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ½ΡΠ» ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΈΠ·ΡΡΠΈΠ² ΠΊΡΡΠΊΠΈ 1 Π½Π° 1!
Π Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ ΠΊΠ°ΡΡ Π°ΡΡΠΈΠ±ΡΡΠΎΠ²:
- ΠΌΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°Ρ (ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅, Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ)
- , Β«Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΒ» ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° ΡΠ°ΡΡΠΈ, ΠΌΡ Π²ΠΎΡΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΡΠΈΠ½Π³ ΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ.

Β
Π€ΡΠ΅Π΄Π΅ΡΠΈΠΊ Π₯Π΅Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π΅
ΠΠ΅Π½Π΅Π΄ΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, Infodream
ΠΠ½Π΄ΡΠ΅Π°Ρ Π€ΡΠ»ΡΠΊΠ΅Ρ
ΠΠ΅Π½Π΅Π΄ΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ, Infodream
Π£Π·Π½Π°ΠΉΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΎ Qual@xy SPC
Π£Π·Π½Π°ΠΉΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΎ ΠΊΠ°ΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²
ΠΠ²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (ADR) 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΠ‘Π ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ . ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ. ΠΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ (SSIS), ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², Π° ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ°, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ (Π‘ΠΠ), ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ, ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 1. Π¦Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ, ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ
ΠΠ±Π·ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ (Π‘ΠΠ) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π΄Π»Ρ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ Surfscan ΠΎΡ KLA-Tencor. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ SEM Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π° 2D ΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ 3D ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π½ΠΈ ΡΡΠ°Π»Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π³ΠΎΠ»ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 50 Π½ΠΌ, Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π‘ΠΠ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ Π½ΡΠΆΠ΅Π½ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΠ‘Π?
ΠΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ (ΠΠ‘Π) Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π½ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° (Π²ΡΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠΎΡΠΌΡ) ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΈΡ
Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ
Ρ Π³ΠΎΠ»ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΠ‘Π ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π½Π΅ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ²-ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΡΡ
ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ
ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΈΡ
ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 2. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΠ‘Π ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π² Π»ΡΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ 10 Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² Π΄Π΅Π½Ρ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΊΠ°Π·ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΡΡΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΡ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Park Systems ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»Π° ΠΠ‘Π Π΄Π»Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (ADR), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΠΊΠΎΡΡΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ Π²ΡΡΠΎΡΠ΅/Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ADR Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ SEM.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π΅ΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΠ‘Π Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ°
ΠΠ±ΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΡΠ°, Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ½Π° Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π΅. ΠΡΠΎΡΡΠΎ, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ, β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ°. ΠΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΈΠ· ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΡΠ°ΡΠΊΡΡΠ²Π°Ρ Π΅Π³ΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ. Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΠΈΠ³ΡΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ ΠΏΡΡΠ°Π΅ΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΡΡ Π΅Π³ΠΎ, ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΎ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅. ΠΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π²Π° ΡΡΠ°ΠΏΠ° ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ° ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ. Π£ΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π²ΡΡ ΡΡΠ°ΠΏΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠ·ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ ββΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠΏΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ
ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΠ‘Π, ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ
ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠΏΠ΅Ρ
Park Systems Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (ADR) AFM Π±ΡΠ» ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ Π² ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ
Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ² Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊ, Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΡΠΈΡ Candela ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ KLA Tencor. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΠ‘Π ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ Park HDM ΠΌΠΎΠ³ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ. Π ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΉ FA ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ HDD Π΄ΠΎ 1000%.
ΠΠ²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΠΠ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊ
Π£ΡΠΏΠ΅Ρ
Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ
Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π» ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°ΠΏΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠΈΠ»ΠΈ ΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ
Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ΡΠΎΠ² Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΡΡ
ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ
Π±ΡΠ»ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ADR ΠΠΠ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΡΡ
ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ
.
ΠΠ΅Π· ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ [1, 2]. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ [3] Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π±ΡΠ» ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΊΡΠ°ΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π· ΠΈ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ. Π£ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ΡΠ° Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π³ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±ΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΡΠ°ΠΏΠ° ΡΠ΅Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ.
Π ΠΈΡ. 3. ΠΡΠ°ΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΠ‘Π Park.
ΠΠ΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠΏΠ΅Ρ
Π° 300-ΠΌΠΌ ADR Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π΄Π²ΡΡ
ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ²: ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½Π°. Π§Π΅ΠΌ ΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠΏΠ΅Ρ
ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠ²Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΠΊΠ°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ.
Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Β± 5 ΠΌΠΊΠΌ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²
Β
Π ΠΈΡ. ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ADR 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡ Park NX-Wafer
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Ρ, ΠΊΠ°ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Surfscan ΠΎΡ KLA-Tencor, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π½Π° Π² 300-ΠΌΠΌ ΠΠ‘Π-ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
Π‘ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ 300-ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ADR ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΉ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠΊΠ» ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ.
β ΠΠ΅ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Surfscan).
β ΠΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΡΡ, ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΡΡΠ°ΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ Park NX-Wafer. ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ Π²Π°ΡΠ»ΠΈ.
Π ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ADR 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Park NX-Wafer. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π° ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 95% Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΡΡ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΡΠ΅ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΌΠΊΠΈ, Π±ΡΠ³ΡΡ ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Ρ.
Β
Π ΠΈΡ. 5. 300-ΠΌΠΌ ΠΠ‘Π ADR Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ, ΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π± Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 5 (a)
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 5 (b)
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 5 (c)
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π»ΠΈΡΡΡΡ Destradiation Marks, Square-Shaped.


ΠΠ°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊΠ°