ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ: Π“Π°Ρ€Π°Π΅Π²Π° Π­.Π­. ИспользованиС ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ диагностикС Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ ΠšΠΠœΠΠ—

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

2.ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ

ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Π° тСхничСских Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΎΠ² компрСссора

Π”Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ:

Π‘Π»ΠΎΠΊ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΎΠ²

НомСр Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ:

β„– 5320-3509028

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»

Π’Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π‘Π§ 18

HBΒ­ – 187-241

ΠŸΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡ Π½Π° эскизС

Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹

Бпособ установлС-ния Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ инструмСнты

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΌΠΌ

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΡƒ

допустимый Π±Π΅Π· Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°

допустимый для Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°

1

Π’Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΌΡ‹, ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠΈΠ½Ρ‹

ΠžΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€

–

–

–

Π‘Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ

2

Π—Π°Π΄ΠΈΡ€Ρ‹, риски Π½Π° повСрхности

Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π°

ΠžΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€, Π»ΡƒΠΏΠ°

β—‹60+0,03

Π‘Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ… рисок ΠΈ Π·Π°Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ².

3

Износ повСрхности Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π°

Π˜Π½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ€

β—‹60+0,03

β—‹60,3

–

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€

1-Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ

β—‹60,4+0,03

β—‹60,43

β—‹60,23

2-ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ

β—‹60,8+0,03

β—‹60,83

β—‹60,63

4

ΠšΠΎΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π°Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… повСрхностСй ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π΅Ρ€ ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π°

Π›Π΅ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠΊΠ°

92-0,24

91,7

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎ вывСдСния Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°

5

Износ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄ сСдло выпускного ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½Π°

ΠžΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€

β—‹17+0,019

17,027

ЗапрСс-

ΡΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‚ΡƒΠ»ΠΊΡƒ

6

Π‘Ρ€Ρ‹Π² Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±Ρ‹

ΠžΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€

ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±ΠΎΠ²ΡƒΡŽ вставку ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π²Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‹Ρˆ

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€.

ΠŸΡ€ΠΈ этом способС восстановлСния ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· сопряТСнных Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ дорогостоящая, обрабатываСтся ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€, Π° вторая, сопряТСнная с Π½Π΅ΠΉ, замСняСтся Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ, Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ, ΠΈΠ»ΠΈ восстанавливаСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΠΎ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡƒΡŽ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… повСрхностСй Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ Π²ΠΈΠ΄ восстановлСния Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ эффСктивСн лишь Π² случаС, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π»ΠΈΠΊΠ²ΠΈΠ΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ тСрмичСски ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ повСрхностного слоя Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ.

ВосстанавливаСмыС повСрхности Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ нСсколько Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². Π˜Ρ… количСство ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ зависят ΠΎΡ‚ износа Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π·Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ срок слуТбы автомобиля, припуска Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΈ запаса прочности Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈΠΏΡƒΡΠΊ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ зависит ΠΎΡ‚ Π²ΠΈΠ΄Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ: ΠΏΡ€ΠΈ чистовом Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ растачивании ΠΎΠ½ составляСт 0,05β€”0,10 ΠΌΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 0,03β€”0,05 ΠΌΠΌ Π½Π° радиус.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠ·Ρ‹ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ€Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΡˆΠ°Ρ‚ΡƒΠ½Π½Ρ‹Π΅ шСйки ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Π»Π°, ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ шСйки Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Π»Π° ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. К прСимущСствам восстановлСния Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° слСдуСт отнСсти простоту тСхнологичСского процСсса ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. К нСдостаткам этого способа относятся ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ запасных частСй, поставляСмых ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ услоТнСниС ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСссов комплСктования Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ.

Β«ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΡΒ» — это ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΎΠ². ΠžΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ послС Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°, зависит Ρ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ износ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΏΠΎΡ€ΡˆΠ½Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ†. Для этого ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ повСрхности Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΡ€Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Ρ‹ΠΌ трСбованиям — Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‹ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ масло. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ трущиСся Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ минимальноС врСмя ΠΏΡ€ΠΈΡ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

ВсСм этим трСбованиям, ΠΊΠ°ΠΊ извСстно, Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго соотвСтствуСт ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π°Ρ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½Ρ‹ (риски) Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ основной ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 0,005-0,010 ΠΌΠΌ ΠΈ сглаТСнныС (плоскиС) Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ — ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ повСрхности. Вакая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ формируСтся Π² процСссС ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ хонингования.

ΠžΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ β€” БтудопСдия

ПодСлись  

ΠžΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ производится Π² соотвСтствии с Π“ΠžΠ‘Π’ 3.1115 – 79. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ МК Π² качСствС ΠšΠ’ΠŸΠ”:

– Π² Π³Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ… «НаимСнованиС Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, сборочной Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Β» ΠΈ Β«ΠžΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ΄Β» указываСтся Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π° Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌ, ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ ΠΈ срСдствам контроля слСдуСт Π·Π°ΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ строкС со слуТСбным символом Β«Π”/Π’Β». Π‘Π»ΠΎΠΊ со слуТСбным символом вводится послС строки со слуТСбным символом «К/М». Π‘Π»ΠΎΠΊΠΈ заполнСния ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Ρ€Π°Ρ„ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π°Ρ… 2.1 ΠΈ 2.2.

Π‘Π»ΠΎΠΊ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 2.1

Β 

Π‘Π»ΠΎΠΊ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 2.1

Β  Код, ΠŸΠ—ΠŸ Β  ΠŸΠ—ΠŸΠ  Π”Π—ΠŸ БВО Β  Β 
Π Π” Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β  Β  Β  Β  Β  Β  Β 
Β  Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° Β  Β  Β  Β  Β  Β  Β 
Β  Β  Β  Β  Β  Β  Β  Β  Β 
Β  Β 

Β 

Π“Ρ€Π°Ρ„Ρ‹ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° слСдуСт Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Π² соотвСтствии с Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ΠΉ 2. 2

Β 

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 2.2 – ΠžΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Ρ€Π°Ρ„ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ

Β 

НомСр Π³Ρ€Π°Ρ„Ρ‹ УсловноС ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Ρ€Π°Ρ„Ρ‹ ПРИ Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π³Ρ€Π°Ρ„Ρ‹
Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΌ способС заполнСния Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ способС заполнСния
Код, Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° ΠšΠ” Код, Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°. Код допускаСтся Π½Π΅ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ
ΠŸΠ—ΠŸ ΠŸΠ—ΠŸ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΏΠΎ конструкторскому ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ тСхничСскому Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρƒ
ΠŸΠ—ΠŸΠ  ΠŸΠ—ΠŸΠ  ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΏΠΎ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ конструкторскому ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ тСхничСскому Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρƒ
Π”Π—ΠŸ Π”Π—ΠŸ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°
БВО БВО ΠžΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΊΠΎΠ΄), Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ примСняСмых срСдств контроля
рСзСрвная Π³Ρ€Π°Ρ„Π°.
ЗаполняСтся ΠΏΡ€ΠΈ нСобходимости ΠΏΠΎ ΡƒΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°

Β 

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ оформлСния ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π½Π° рисунках 2.1 ΠΈ 2.2.

ΠŸΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ выполнСния

1. ΠžΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

2. ΠŸΡ€ΠΈΠ²Π΅ΡΡ‚ΠΈ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρƒ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ заполнСния Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

3. Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρƒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ° гидравличСского гаситСля ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ (ДопускаСтся ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Π»ΡŽΠ±ΡƒΡŽ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΡƒ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡƒΡŽ с Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ транспорта, Π²Ρ‹Π΄Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ).

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΠ΅: ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Ρƒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Π½Π° основС ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹.

ΠŸΡ€ΠΈ описании процСсса Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ трСбования Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ – тСхничСской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ тСхнологичСскому процСссу.

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚Π°

1. ΠŸΠΎΡΡΠ½ΠΈΡ‚Π΅ ΡΡƒΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ процСсса Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

2. ΠŸΠΎΡΡΠ½ΠΈΡ‚Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ тСхнологичСских ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

3. БвСдСния, вносимыС Π² Π³Ρ€Π°Ρ„Ρ‹ ΠΈ строки ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹

4. Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹.

Β 

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ вопросы

1. Какая информация вносится Π² Π³Ρ€Π°Ρ„Ρƒ с ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Β«ΠŸΠ—ΠŸΒ»?

2. Какая информация вносится Π² Π³Ρ€Π°Ρ„Ρƒ с ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Β«ΠŸΠ—ΠŸΠ Β»?

3. Π’ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ вносится информация ΠΎ примСняСмой тСхнологичСской оснасткС?

4. Каким ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ обозначаСтся информация ΠΎ примСняСмых срСдствах тСхнологичСского оснащСния?

5. Π’ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… Π³Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ… указываСтся Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅?

6. КакиС Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ слСдуСт Π·Π°ΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ строкС со слуТСбным символом Β«Π”/Π’Β»?

7. Π’ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ строкС слСдуСт Π·Π°ΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌ, ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ ΠΈ срСдствам контроля?

Β 

Рисунок 2.1 ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ заполнСния ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ МК Π² качСствС ΠšΠ’ΠŸΠ”.

Β 

Β 

Β 

Рисунок 2.2 ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ заполнСния ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ совмСстно с ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΎΠΉ эскизов ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ МК.


ο»Ώ

ΠœΠ΅ΡΡ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ нСисправности — Π°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ±ΡƒΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ — ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² [2/2]

Атрибутивный ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ аспСктных Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ SPC осущСствляСтся с использованиСм классичСских Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌ отслСТивания Π°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ±ΡƒΡ‚ΠΎΠ² NP (количСство Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ), C (количСство нСсоотвСтствий ), P (доля Π½Π΅ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ) ΠΈΠ»ΠΈ U (доля нСсоотвСтствий Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρƒ).

Если C-ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ с высокой Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ 100% ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅, Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ количСства Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях этого наблюдСния достаточно. Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ сСбС ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ случаи, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎ количСствС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² нСдостаточно.

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΡŒ этот нСдостаток, для Π°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ±ΡƒΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов управлСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ввСсти понятиС мСстополоТСния Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°). ВмСсто Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ докумСнтируСтся мСстонахоТдСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° Π½Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ.

Β 

На этом ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°Ρ€Π΅Π½Π΄ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π²Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°: ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡ‚Π΅, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΌ ΠΊΡ€Ρ‹Π»Π΅. На ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ компания ΠΏΠΎ Π°Ρ€Π΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ сообщаСт ΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ…, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΡˆΠΈΡ…, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ»ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ Π°Ρ€Π΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒ. Π’ этом ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π΅ компания ΠΏΠΎ Π°Ρ€Π΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π΄Π²Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°: ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡ‚Π΅, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΌ ΠΊΡ€Ρ‹Π»Π΅.

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ сфСрС ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ сСбС мноТСство ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ, Π³Π΄Π΅ находится Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ, ΠΎΡ‚Π±Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ‚.

Π’ аэронавтикС ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ, Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π² области Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ физичСской Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ. Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Ρ‚Π° ΠΆΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ слому Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Ссли ΠΎΠ½Π° находится Π² Π·ΠΎΠ½Π΅, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ высоким физичСским Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°ΠΌ.

Для производитСля часов допустима Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Π°, Ссли ΠΎΠ½Π° находится Π² Π½Π΅Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ области ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. Однако, Ссли Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Π° находится Π² сСрСдинС бСзСля, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡƒΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ, Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΆΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ случаи, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° мСстонахоТдСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π² принятии Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Π΅ ΠΎΡ‚ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ°. МоТно Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ случаи, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° для принятия Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π° Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ информация ΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π΅ (Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°).

Как ΠΈ Π² случаС с Π΅Π³ΠΎ мСстополоТСниСм, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΡ€ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ объСмом Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π’ зависимости ΠΎΡ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π° ΠΏΠΎ ΠΊΠ°ΠΏΠΎΡ‚Ρƒ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ арСндодатСля Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ: ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΏΡ€ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π΅Π³Π½ΡƒΡ‚ΡŒ ΠΊ страховкС.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ эти Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΈΡ… классификации (малСнькиС, срСдниС, большиС), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΈΡ… измСрСния (Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 15 ΠΌΠΌ).

Β 

Β 

Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… мСстах допустимой считаСтся Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Π°, Ссли Π΅Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ… ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Если ΠΎΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Π΅Π΅, Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ слСдуСт Π²Ρ‹Π±Ρ€ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ. Для производитСля стСкла Ρ€Π°Π΄ΡƒΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ бСспокойства, Ссли Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 5 ΠΌΠΌΒ².

ВсС эти ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ использования ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² для принятия ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π΅Π»ΠΎ Π΄ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π΄ΠΎ принятия Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. Если Π²Ρ‹ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅ использованиС ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² этой ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΎΠΉ принятия Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊ соТалСнию, Π²Ρ‹ Π½Π΅ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ количСства Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Как ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ этой Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ (мСстополоТСниС, характСристика), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ количСство Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ²?

ΠŸΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ наша компания ΠΏΠΎ Π°Ρ€Π΅Π½Π΄Π΅ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ сСйчас Β«Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚Β» Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π° всС Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈ, взятыС Π² Π°Ρ€Π΅Π½Π΄Ρƒ Π·Π° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ получаСтся ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ, Π² ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… областях автомобиля ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΎ наибольшСС количСство Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Β 

Β 

Глядя Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρƒ, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ дСйствия, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ количСство столкновСний Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… областях ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡ€ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ рСвСрсивныС Ρ€Π°Π΄Π°Ρ€Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ с Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ транспортных срСдств!

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΎΡΡ этот ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, ΠΌΡ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ области, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… часто Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, ΠΈ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ ΠΈΡ… накоплСния. ΠŸΡ€ΠΈ устранСнии выявлСнной ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ автоматичСски достигаСтся ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

ΠšΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², располоТСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ²

Β 

ΠŸΡƒΡ‚Π΅ΠΌ налоТСния производствСнной ΠΏΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠΈ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, 20 ΡˆΡ‚ΡƒΠΊ Π² нСдСлю) ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρƒ нас Π΅ΡΡ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ½Π°, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ сосрСдоточСно большоС количСство Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² (ΠΎΡ‚ R2-S2 Π΄ΠΎ R3-S5): ΠΌΡ‹ Π±Ρ‹ Π½Π΅ понял этого, ΠΈΠ·ΡƒΡ‡ΠΈΠ² куски 1 Π½Π° 1!

Π’ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚ΡŒ статистичСский аспСкт ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ Π°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ±ΡƒΡ‚ΠΎΠ²:

  • ΠΌΡ‹ добавляСм ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ… (Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π½Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° быстрСС, с мСньшим количСством Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ)
  • , «накладывая» ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρƒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° части, ΠΌΡ‹ воссоздаСм ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† эффСкта ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ½Π³ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ с Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ.

Β 

Π€Ρ€Π΅Π΄Π΅Ρ€ΠΈΠΊ Π₯Π΅Π½Ρ€ΠΈΠΎΠ½Π½Π΅
ΠœΠ΅Π½Π΅Π΄ΠΆΠ΅Ρ€ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ качСства, Infodream

АндрСас Π€Ρ‘Π»ΡŒΠΊΠ΅Ρ€
ΠœΠ΅Π½Π΅Π΄ΠΆΠ΅Ρ€ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρƒ, Infodream

Π£Π·Π½Π°ΠΉΡ‚Π΅ большС ΠΎ Qual@xy SPC
Π£Π·Π½Π°ΠΉΡ‚Π΅ большС ΠΎ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ²

АвтоматичСский Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² (ADR) 300-ΠΌΠΌ пластин Π±Π΅Π· покрытия с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ АБМ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° пластинах. Для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΡ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ инструмСнты ΠΊΠ°ΠΊ для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ. Π˜Π½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ контроля, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ систСмы контроля сканирования повСрхности (SSIS), ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ для обнаруТСния ΠΈ картирования участков Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Π° инструмСнты ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π°, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ элСктронная микроскопия (БЭМ), ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для получСния морфологичСской ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ оптичСской микроскопии, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Ρ‹ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°. Однако ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ трСбования ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ становятся Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ строгими, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ΡΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° становится мСньшС, Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π° оптичСской микроскопии. Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ нСбольшиС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, инструмСнт просмотра Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ большоС ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ сканированиС, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ мСстополоТСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Рис. 1. ЦСль ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ мСстонахоТдСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ инструмСнта ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ, ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ инструмСнта ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ

ΠžΠ±Π·ΠΎΡ€ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (БЭМ) использовался для Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ пластины послС картирования Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… участков с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ инструмСнтов для дСфСктоскопии Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ рассСяния, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Surfscan ΠΎΡ‚ KLA-Tencor. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, визуализация с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ SEM для просмотра Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π° 2D ΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ 3D ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ, которая Π² послСдниС Π΄Π½ΠΈ стала Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ для контроля производства Π³ΠΎΠ»Ρ‹Ρ… пластин. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 50 Π½ΠΌ, всС Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БЭМ для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Π—Π°Ρ‡Π΅ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ автоматичСский Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² АБМ?

Атомно-силовая микроскопия (АБМ) Π² послСдниС Π΄Π½ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ всС большСС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² качСствС инструмСнта для ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΎΠ½Π° позволяСт Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° (высоту ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ) ΠΈ физичСскиС свойства ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ΡΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Однако для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ исслСдоватСлСй, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… с Π³ΠΎΠ»Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами, процСсс выявлСния Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ АБМ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сниТаСт ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅ говоря ΡƒΠΆΠ΅ ΠΎ пропускной способности. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ²-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° Π³ΠΎΠ»Ρ‹Ρ… пластинах ΠΈ свСсти ΠΈΡ… ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌΡƒ.

Рисунок 2. Випичная ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΉ АБМ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π² Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ΠΌ случаС 10 Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² дСнь. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ подсказки ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ высокой, Ссли ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ дСструктивный Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ сканирования, Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ постукиваниС.

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ эту ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, компания Park Systems Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»Π° АБМ для автоматичСского просмотра Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² (ADR), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ускоряСт ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ способ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ этого Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ свСдСния ΠΈ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ высотС/Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ слишком Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ADR Π½Π° основС SEM.

Как пСрСнСсти ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρƒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ· инструмСнта контроля Π² АБМ для просмотра

ΠžΠ±Ρ‰Π°Ρ концСпция просмотра Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² проста, Π½ΠΎ слоТна, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ½Π° выполняСтся Π² Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π΅. ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎ, ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ всС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для этого потрСбуСтся, β€” это ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ пСрСнос ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ· инструмСнта ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСстополоТСния Ρ‚Π΅Ρ… ΠΆΠ΅ самых Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² инструмСнтС ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π°. ΠšΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ· инструмСнта ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² инструмСнт просмотра, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для увСличСния ΠΈ отобраТСния Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, раскрывая Π΅Π³ΠΎ характСристики. БлоТная Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ вступаСт Π² ΠΈΠ³Ρ€Ρƒ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ‹ ΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ΡΡŒ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ достаточно Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ мСсту Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ, ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ всС это Π² автоматичСском Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅. Когда Π΄Π²Π° этапа инструмСнта ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ ΠΈ инструмСнта ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π° связаны ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ собой, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ошибки. Π£ΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ процСсса автоматичСской ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² зависит ΠΎΡ‚ точности двухэтапного сопоставлСния.

Π’ случаС ΡƒΠ·ΠΎΡ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠΉ ​​пластины ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ совмСщСния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² качСствС ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ для сопоставлСния Π΄Π²ΡƒΡ… этапов ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ инструмСнтом контроля ΠΈ АБМ, ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ полоТСния ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… инструмСнтов. ΠŸΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ успСх Park Systems Π² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² (ADR) AFM Π±Ρ‹Π» Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ Π² индустрии ТСстких дисков с использованиСм ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ, нанСсСнных инструмСнтом оптичСского контроля, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ сСрия Candela ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ KLA Tencor. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ эти ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ТСсткого диска ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π° автоматичСский ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ АБМ сСрии Park HDM ΠΌΠΎΠ³ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ достаточно Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ провСсти ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ сканированиС, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сканированиС. сканированиС с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ. Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ это Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ оказалось эффСктивным, повысив ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΉ FA индустрии HDD Π΄ΠΎ 1000%.

Автоматизированный ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ пСрСнос ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π‘Π•Π— ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ

УспСх Π² производствС ТСстких дисков ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π» ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ запросы поступили ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ трСбования ΠΊ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΡŽ чистоты для ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ строТС, Ρ‡Π΅ΠΌ для ТСстких дисков, созданиС ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π½Π° Π³ΠΎΠ»Ρ‹Ρ… пластинах Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, поэтому Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ процСсс ADR Π‘Π•Π— ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° Π³ΠΎΠ»Ρ‹Ρ… пластинах.

Π‘Π΅Π· установочных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² оцСниваСтся ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ [1, 2]. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, трСбуСтся Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс выравнивания для ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ошибки [3] Π²ΠΎ врСмя ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Для Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ этой ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ Π±Ρ‹Π» Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π² качСствС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΡ€Π°ΠΉ пластины, Π½Π°Π΄Ρ€Π΅Π· ΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ оптичСской микроскопии. Π£ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ пСрСназначСния Π² сочСтании с ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π·Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования эталонного ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠ΅Ρ€Π° Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ пластинС. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ трСбуСтся ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ шаг для ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ этапа Ρ†Π΅Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ систСмы контроля.

Рис. 3. ΠšΡ€Π°ΠΉ пластины ΠΈ фактичСскиС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ пластины ΠΈ прСобразования ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ инструмСнтом контроля ΠΈ АБМ Park.

Π’Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ успСха 300-ΠΌΠΌ ADR Π±Π΅Π· покрытия пластины зависит ΠΎΡ‚ Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²: точности картирования сцСны ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° исходного скана. Π§Π΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Π΅Π΅ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ стадий, Ρ‚Π΅ΠΌ мСньший Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ сканируСмого изобраТСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ успСх обнаруТСния Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Новая ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° картирования стадий Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ повысила Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π° счСт примСнСния ΡƒΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° пСрСназначСния ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

БрСднСквадратичная ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ позиционирования ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… сканов составляСт ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 ΠΌΠΊΠΌ нСзависимо ΠΎΡ‚ полоТСния Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ пластины. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ всС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ располоТСны Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… Β± 5 ΠΌΠΊΠΌ с использованиСм ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², прСдоставлСнной инструмСнтом ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ²

Β 

Рис. срСднСквадратичноС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠŸΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ошибка остаСтся практичСски Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ нСзависимо ΠΎΡ‚ полоТСния Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ пластины.

Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ADR 300-ΠΌΠΌ пластины Π±Π΅Π· покрытия ΠΎΡ‚ Park NX-Wafer

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ ΡƒΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΡƒ прСобразования ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚, ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π° Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², получСнная с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ инструмСнта для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Surfscan ΠΎΡ‚ KLA-Tencor, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π½Π° Π² 300-ΠΌΠΌ АБМ-систСму, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Π‘ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ 300-ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластиной ADR Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ автоматичСский Ρ†ΠΈΠΊΠ» измСрСния Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ.

β€” НСизолированная пластина обрабатываСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ дСфСктоскопа (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Surfscan).

β€” ΠšΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² автоматичСски ΡƒΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ, ΠΈ активируСтся связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя этапами ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ инструмСнтом ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ ΠΈ Park NX-Wafer. ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΉ Π²Π°Ρ„Π»ΠΈ.

Π’ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡ€Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ADR 300-ΠΌΠΌ пластины Π±Π΅Π· покрытия с пластиной Park NX-Wafer. Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ успСха ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 95% нСзависимо ΠΎΡ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ пластины. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ сканы ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΎ различая Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ямки, Π±ΡƒΠ³Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Ρ‹.

Β 

Рис. 5. 300-ΠΌΠΌ АБМ ADR Π±Π΅Π· покрытия пластины ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ опрСдСляСт мСстонахоТдСниС всСх участков Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², выявлСнных с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ инструмСнта для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ, ΠΈ автоматичСски ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π± для Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния.

Рисунок 5 (a)

Рисунок 5 (b)

Рисунок 5 (c)

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ рассмотрСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π° Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒΡ Destradiation Marks, Square-Shaped.

Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *